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Os métodos para medir a espessura do filme extensível incluem principalmente medição direta e medição indireta.
Medição direta
Os métodos de medição direta incluem micrômetro espiral, varredura de contorno de precisão (método de etapas), microscopia eletrônica de varredura (SEM), etc. Esses métodos induzem diretamente a espessura do filme por meio de contato ou contato leve e são adequados para situações em que a qualidade da superfície do o filme não precisa ser alto.
O método de contato mecânico é um método de medição de espessura de filme fino aplicado anteriormente, que determina a espessura medindo o deslocamento mecânico entre o filme fino e a sonda. Este método é simples e direto, mas pode danificar a superfície do filme e afetar a precisão da medição. Os métodos de contato mecânico comuns incluem micrômetros espirais e micrômetros, que são amplamente utilizados nas indústrias de processamento e fabricação de filmes finos.
Medição indireta:
Os métodos de polarização elíptica, interferometria de espessura igual, interferometria de ângulo variável, capacitância, resistência e pesagem são exemplos de técnicas de medição indireta. Essas técnicas calculam a espessura do filme aplicando relações físicas específicas aos parâmetros físicos pertinentes.
O método óptico é uma técnica sem contato para medir a espessura de filmes finos que se baseia nos conceitos de interferência de luz, reflexão, refração e assim por diante. Ele usa medições de intensidade de luz, fase e polarização para determinar a espessura de um filme fino. Como os procedimentos ópticos são rápidos, sem contato e possuem alta precisão, eles são frequentemente empregados em áreas como engenharia óptica e pesquisa de filmes finos. As técnicas ópticas comumente usadas são elipsometria e interferometria.
A microscopia eletrônica é um método para determinar a espessura de um filme fino observando sua seção transversal usando um microscópio eletrônico. Possui as vantagens de alta resolução e forte intuitividade, podendo observar diretamente a microestrutura e a espessura do filme. No entanto, a microscopia eletrônica requer equipamentos complexos e suporte técnico, além de apresentar altos requisitos para o preparo de amostras.
Em aplicações práticas, a escolha do método de medição apropriado depende de requisitos e condições específicas de teste. Por exemplo, para materiais como filmes extensíveis, pode ser necessário considerar a influência da sua plasticidade e propriedades de tração no método de medição para garantir a precisão e a confiabilidade da medição.
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